Regulus 8100冷场发射扫描电子显微镜

仪器名称：冷场发射扫描电子显微镜

仪器型号: Regulus 8100

制造厂家: 日立（HITACHI）

放置地点：云南大学呈贡校区工程中心2栋101

管理人：彭芳芝、刘拥军

联系方式：18988465910、13700691756

实际拍摄图:

1、不同电压下AU成像

2、stem像

1．设备用途：

1.1该设备为超高分辨扫描电子显微分析系统，主要用于纳米颗粒和粉末、纳米管及纳米线、塑料电子器件、玻璃基体材料、有机材料、金刚石薄膜、生物等等①材料微观表面的观察和表征，②材料微区的高分辨二次电子像、背散射电子像、STEM像。

1.2配有高性能x-ray能谱仪，可对材料微观表面进行定性定量成分分析。

2．技术规格

2.1 分辨率：0.8nm@15kV;  1.1nm@1kV; 0.8nm@STEM，背散射电子像：3.5 nm

2.2  放大倍率范围：20～1,000,000倍(底片模式)

2.3 能谱探测器：有效检测面积≥30mm²；

2.4 分析元素范围：Be4～U92；

2.5 能量分辨率(Mn-Ka)：优于133eV。

3．配有离子溅射仪：可选择溅射金、 铜、铬等多种靶材。